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LPCVD在硅片表面沉积多晶硅、氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等工艺
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2017-12-18 13:30
RTA快速退火炉 金立盾
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芯片退火炉 金立盾
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2017-12-18 13:30
真空炉 用于硅片的真空合金、背金工艺
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