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● 用 途:
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用于硅片的真空合金、背金工艺
用于二极管真空烧结、真空焊接;热敏电阻等器件的真空烧结
● 特 点:
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无油分子泵机组
短时间达到高真空
关键件全部采用进口件,具有高可靠性
具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置
可配备氢气系统
升降温快,生产效率高
● 技术指标:
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结构型式 |
卧式、立式;1-4管 |
温度范围 |
200~1200℃ |
极限真空度 |
优于10-4Pa |
工艺气体 |
N2、H2 |
温区长度及精度 |
± 2℃/300mm--800mm |
腔体材质 |
石英管、不锈钢管 |
口径 |
¢100mm--¢400mm |
载重量 |
10-40KG/管 |
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