微纳米力学综合测试系统_Process design_Technology_Semiconductor mall

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Sensor and Chip
- Sensor
  |Displacement |Temperature |Pressure/Tension |Humidity |Gas |Weight |Flow Rate |liquid Level |Infrared |Magnetic Sensor |Voltage&Current |Illumination |Other |Velocity |Angle
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  |气体检测仪 |压力表 |差压表 |减压表 |气压表 |其他压力仪表
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  |LED芯片类 |LD芯片类 |IC芯片类 |MEMS芯片类 |晶圆-晶体管 |其他类别
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  |透镜 |反射镜 |衰减类 |棱镜类 |其他
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  |阀门控制类 |开关控制类 |光电控制类 |温湿度控制类 |其他类
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  |LED灯具 |LD灯具类 |UV灯具 |植物灯
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Processing Equipment
Testing Equipment
Packing Equipment
Cleanning Equipment
Subsidiary Equipment
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  |气柜 |钢瓶架 |设备尾气处理 |废气处理 |气瓶推车 |其他
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  |加热台 |干燥设备 |其他
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  |手套箱 |通风橱 |屏蔽箱 |其他
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  |隔振平台 |光学平台 |洁净工作台 |其他
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  |机械泵 |冷泵 |分子泵 |离子泵 |其他
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  |真空包装机 |氮气包装机 |热封包装机 |其他
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  |防静电推车 |不锈钢推车 |储物车 |其他
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Second-hand equipment
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  |酸碱类 |腐蚀剂 |溶剂溶液 |固体类 |其他化学品
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Lab consumable
Proc-Equip Consumable
- Lapping&Polishing
  |研磨粉/液 |抛光液/粉 |研磨盘 |抛光布 |去蜡液 |修盘块 |玻璃板 |金刚石砂轮 |游星轮 |石蜡 |无蜡粘接 |设备其他配件
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  |射频电源 |陶瓷筒 |陶瓷盘 |石英载盘 |射频匹配器 |电极 |其他
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  |汞灯 |掩膜板 |精密传动轴 |密封圈 |CCD光源 |触摸控制屏幕 |反光杯 |光强检测仪 |汞灯电源 |光刻版定制 |其他
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  |钨钼制品类 |真空泵组件 |密封圈 |光学类镜片 |电磁阀类 |陶瓷类部件 |真空阀门类 |蓝膜、白膜类 |其它
Pack-Equip Consumable
- Raw Materials
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  |目镜 |物镜 |环形灯 |光源 |载台及移动组件 |三色片 |CCD组件 |其他
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  |信号线 |保险 |其它

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微纳米力学综合测试系统

Published on：2017-02-15 Author：863test

微纳米力学综合测试系统(Micro-Nanomechanical Integrative Test System)

a. 纳米划痕仪(Nano-scratch)

加载力：10uN～1N

加载力分辨率：150nN

摩擦力范围：6μN ～1N

b. 纳米压痕仪(Nano-indentation)

加载力：0～300mN

加载力分辨率：40nN

最大压入深度：20μm

c. 原子力显微镜(AFM)。

扫描范围：20×20×2μm

分辨率：X、Y、Z<1nm

d. 大载荷划痕仪

测试范围与服务项目：

微硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、结合强度、临界载荷、断裂刚度、蠕变、粘变力（结合力）、存储模量、损失模量等测试、生物组织、涂层、薄膜、半导体材料的刻蚀结构及纳米、微米结构的三维形貌分析表征

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