WaferEtch TSVReveal创新晶片加工解决方案_Process plan implementation_Technology

Sensor and Chip
- Sensor
  |Displacement |Temperature |Pressure/Tension |Humidity |Gas |Weight |Flow Rate |liquid Level |Infrared |Magnetic Sensor |Voltage&Current |Illumination |Other |Velocity |Angle
- Instrument
  |气体检测仪 |压力表 |差压表 |减压表 |气压表 |其他压力仪表
- MFC
  |有毒气体类 |无毒气体类 |其他
- Chip
  |LED芯片类 |LD芯片类 |IC芯片类 |MEMS芯片类 |晶圆-晶体管 |其他类别
- Laser
  |功率类 |测试类 |通讯类 |其他
- Lens&Filter
  |透镜 |反射镜 |衰减类 |棱镜类 |其他
- Controller
  |阀门控制类 |开关控制类 |光电控制类 |温湿度控制类 |其他类
- Led
  |LED灯具 |LD灯具类 |UV灯具 |植物灯
- Led Gem
  |红光 |蓝光 |绿光 |黄光 |白光 |其他
- Others
Processing Equipment
Testing Equipment
Packing Equipment
Cleanning Equipment
Subsidiary Equipment
- Gas Equipment
  |气柜 |钢瓶架 |设备尾气处理 |废气处理 |气瓶推车 |其他
- Heating Platform
  |加热台 |干燥设备 |其他
- Safety Protection
  |手套箱 |通风橱 |屏蔽箱 |其他
- Work Bench
  |隔振平台 |光学平台 |洁净工作台 |其他
- Vacuum Pump
  |机械泵 |冷泵 |分子泵 |离子泵 |其他
- Packing
  |真空包装机 |氮气包装机 |热封包装机 |其他
- Optics
  |平移台 |旋转台 |升降台 |角位台 |其他
- Storage
  |电子防潮柜 |氮气柜 |防氧化柜 |其他
- Cart
  |防静电推车 |不锈钢推车 |储物车 |其他
- Suction Pen
  |晶圆吸笔 |管芯吸笔 |器件吸笔 |其他
- UPS
  |UPS |大电流电池 |其他
- Others
  |数控设备 |称重天平 |磁力搅拌器 |冷水机
Second-hand equipment
Materials
- Wafer-Sub
  |硅衬底 |蓝宝石 |砷化镓 |磷化镓 |锑化镓 |砷化铟 |磷化铟 |碳化硅 |氮化镓
- Gas
  |纯气 |高纯气体 |外延气体 |蚀刻气体 |掺杂气体 |离子注入气 |其他类气体
- Chemicals
  |酸碱类 |腐蚀剂 |溶剂溶液 |固体类 |其他化学品
- Crystal
  |蓝宝石晶体 |激光晶体 |晶体硅 |红外晶体 |其他类晶体
- Raw Materials
  |高纯氧化铝 |高纯石英砂 |单、多晶硅 |其他原材料
- Optical Fiber
  |单模光纤 |多模光纤 |其他
- Other Materials
  |光学玻璃 |其它
Lab consumable
Proc-Equip Consumable
- Lapping&Polishing
  |研磨粉/液 |抛光液/粉 |研磨盘 |抛光布 |去蜡液 |修盘块 |玻璃板 |金刚石砂轮 |游星轮 |石蜡 |无蜡粘接 |设备其他配件
- Etching
  |射频电源 |陶瓷筒 |陶瓷盘 |石英载盘 |射频匹配器 |电极 |其他
- Gluing
  |光刻胶 |胶盘 |导轨 |胶泵 |胶刷 |胶瓶 |其他
- Lithography
  |汞灯 |掩膜板 |精密传动轴 |密封圈 |CCD光源 |触摸控制屏幕 |反光杯 |光强检测仪 |汞灯电源 |光刻版定制 |其他
- PVD
  |坩埚类 |电子枪（丝） |陶瓷件 |镀源、靶材 |晶振片 |冷泵及配件 |高压电源 |玻璃盖板 |膜厚仪 |真空计 |铝箔纸 |磁铁 |钨舟类 |其他耗材
- Dicing
  |白膜、蓝膜类 |子母环 |刀片 |砂轮 |蓝膜架 |喷水罩 |刷子类 |拆刀工具 |密封圈 |液体泵 |液体控制器 |磨刀板/石 |陶瓷盘 |其他
- Cutting
  |刀具 |晶圆环 |金属提篮 |子母环 |提篮 |导轮 |其他
- Washer
  |腔体部件 |液体泵 |超声波发生器配件 |控制面板 |设备管阀配件 |其他
- Others
  |钨钼制品类 |真空泵组件 |密封圈 |光学类镜片 |电磁阀类 |陶瓷类部件 |真空阀门类 |蓝膜、白膜类 |其它
Pack-Equip Consumable
- Raw Materials
  |导电胶 |绝缘胶 |固晶胶 |封装胶 |灌封胶 |环氧树脂 |粘和胶 |荧光粉 |其他
- Substrate
  |支架 |框架 |基板 |热沉 |管座 |其他
- Dispensing
  |点胶阀 |针头 |点胶针筒 |点胶头 |针筒固定架 |混合管 |其他
- Crystal Expansion
  |晶圆环 |子母环 |蓝膜、白膜类 |其他
- Wire
  |金线 |铜线 |铝线 |合金线 |金属片 |其他 |打火杆 |劈刀
- Sealing
  |透明胶 |黑胶 |环氧树脂 |封装模具 |针头 |封装胶
- Solid Crystal
  |银胶 |合金 |吸嘴 |瓷嘴 |顶针 |视觉系统 |其他
- Plating
  |单一金属 |合金类 |弥散层材料 |复合层材料 |其他
- Injection
  |塑封料 |塑封模具 |电源整流器
- Others
  |物料盒 |工作台 |烤箱托盘 |其它
Testing-Equip Consumable
- Surface Detection
  |探针 |测试载台 |精密伺服电机 |标准测试片、块 |SEM耗材 |其他
- Electricity Testing
  |电源模块 |探针夹具 |探针 |数字示波器 |其他
- Wafer Thickness Measuring
  |千分表 |大理石平台 |测试头 |支架 |光纤 |其他
- Film Thickness Measuring
  |测试光源 |光纤通道 |椭偏仪配件 |标准块 |其他
- Push&Pull Testing
  |推刀 |钩针 |拉力机 |张力计 |其他
- Machine Vision
  |光源 |CCD组件 |物镜 |分辨率测试块 |其他
- Microscope
  |目镜 |物镜 |环形灯 |光源 |载台及移动组件 |三色片 |CCD组件 |其他
- Others
  |信号线 |保险 |其它

WaferEtch TSVReveal创新晶片加工解决方案

Published on：2017-07-31 Author：3135019

Veeco精密表面处理 - WaferEtch

采用 TSV Reveal 的创新晶片加工解决方案

精密表面处理的单晶片湿法蚀刻技术可实现多个工艺级别的均匀选择性蚀刻，且绝无交叉污染。日常可获得比 1% 更理想的蚀刻一致性。无论先进封装还是 FEOL/BEOL 湿法蚀刻，WaterEtch™ 系统均可以最低的生产成本实现最高产量的工艺。在活性、背面和/或斜角区域需要蚀刻结构或薄膜时，WaferEtch 系统可提供久经验证的技术解决方案。

TSV 露出器

作为 WaferEtch 平台的旗舰产品，TSV 露出器进行了特别配置以满足晶片薄化以露出互锁装置的工艺要求。这已成为 2.5D 和 3D-IC 封装制造的关键步骤，能够实现工艺控制并降低成本。TSV 露出器可取代干法蚀刻所需的四种工具：CMP、等离子蚀刻、硅厚度测量以及晶片清洗。蚀刻系统中的集成式厚度测量传感器可对晶片蚀刻过程进行闭环控制。TSV 露出器实现了 CoO 的明显减少，使 3D TSV 更加经济可行。

功能：

集成式厚度测量
径向厚度不均匀的臂动作补偿
化学循环实现最低 CoO
体积小巧

应用领域：

先进封装
- 2.5D 中介层
- 3D IC

金属/UBM/RDL 蚀刻

金属经过湿法蚀刻具有单晶片的精度和重复性，初始一致性通常低于 3%，然后优化至晶片内和晶片间一致性均达到 1% 以上。精密表面处理的 WaferChek® 系统可提供原位自适应工艺控制，通过晶片的光学特性来管理湿法蚀刻工艺。

功能：

端点检测
绝佳的工艺控制
无交叉感染
化学循环实现最低 CoO
可编程臂扫描搭配流体流动和晶片旋转速度以实现蚀刻一致性
积极表面保护适用于单侧应用

应用领域：

MEMS
RF
电力电子器件
LED
数据存储
先进封装（2.5 和 3D IC）

介电层蚀刻

功能：

绝佳的工艺控制
无交叉感染
最低的拥有成本

应用领域：

MEMS
RF
电力电子器件
LED
数据存储

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