一站式MEMS解决方案_其他_Process design_Technology

Sensor and Chip
- Sensor
  |Displacement |Temperature |Pressure/Tension |Humidity |Gas |Weight |Flow Rate |liquid Level |Infrared |Magnetic Sensor |Voltage&Current |Illumination |Other |Velocity |Angle
- Instrument
  |气体检测仪 |压力表 |差压表 |减压表 |气压表 |其他压力仪表
- MFC
  |有毒气体类 |无毒气体类 |其他
- Chip
  |LED芯片类 |LD芯片类 |IC芯片类 |MEMS芯片类 |晶圆-晶体管 |其他类别
- Laser
  |功率类 |测试类 |通讯类 |其他
- Lens&Filter
  |透镜 |反射镜 |衰减类 |棱镜类 |其他
- Controller
  |阀门控制类 |开关控制类 |光电控制类 |温湿度控制类 |其他类
- Led
  |LED灯具 |LD灯具类 |UV灯具 |植物灯
- Led Gem
  |红光 |蓝光 |绿光 |黄光 |白光 |其他
- Others
Processing Equipment
Testing Equipment
Packing Equipment
Cleanning Equipment
Subsidiary Equipment
- Gas Equipment
  |气柜 |钢瓶架 |设备尾气处理 |废气处理 |气瓶推车 |其他
- Heating Platform
  |加热台 |干燥设备 |其他
- Safety Protection
  |手套箱 |通风橱 |屏蔽箱 |其他
- Work Bench
  |隔振平台 |光学平台 |洁净工作台 |其他
- Vacuum Pump
  |机械泵 |冷泵 |分子泵 |离子泵 |其他
- Packing
  |真空包装机 |氮气包装机 |热封包装机 |其他
- Optics
  |平移台 |旋转台 |升降台 |角位台 |其他
- Storage
  |电子防潮柜 |氮气柜 |防氧化柜 |其他
- Cart
  |防静电推车 |不锈钢推车 |储物车 |其他
- Suction Pen
  |晶圆吸笔 |管芯吸笔 |器件吸笔 |其他
- UPS
  |UPS |大电流电池 |其他
- Others
  |数控设备 |称重天平 |磁力搅拌器 |冷水机
Second-hand equipment
Materials
- Wafer-Sub
  |硅衬底 |蓝宝石 |砷化镓 |磷化镓 |锑化镓 |砷化铟 |磷化铟 |碳化硅 |氮化镓
- Gas
  |纯气 |高纯气体 |外延气体 |蚀刻气体 |掺杂气体 |离子注入气 |其他类气体
- Chemicals
  |酸碱类 |腐蚀剂 |溶剂溶液 |固体类 |其他化学品
- Crystal
  |蓝宝石晶体 |激光晶体 |晶体硅 |红外晶体 |其他类晶体
- Raw Materials
  |高纯氧化铝 |高纯石英砂 |单、多晶硅 |其他原材料
- Optical Fiber
  |单模光纤 |多模光纤 |其他
- Other Materials
  |光学玻璃 |其它
Lab consumable
Proc-Equip Consumable
- Lapping&Polishing
  |研磨粉/液 |抛光液/粉 |研磨盘 |抛光布 |去蜡液 |修盘块 |玻璃板 |金刚石砂轮 |游星轮 |石蜡 |无蜡粘接 |设备其他配件
- Etching
  |射频电源 |陶瓷筒 |陶瓷盘 |石英载盘 |射频匹配器 |电极 |其他
- Gluing
  |光刻胶 |胶盘 |导轨 |胶泵 |胶刷 |胶瓶 |其他
- Lithography
  |汞灯 |掩膜板 |精密传动轴 |密封圈 |CCD光源 |触摸控制屏幕 |反光杯 |光强检测仪 |汞灯电源 |光刻版定制 |其他
- PVD
  |坩埚类 |电子枪（丝） |陶瓷件 |镀源、靶材 |晶振片 |冷泵及配件 |高压电源 |玻璃盖板 |膜厚仪 |真空计 |铝箔纸 |磁铁 |钨舟类 |其他耗材
- Dicing
  |白膜、蓝膜类 |子母环 |刀片 |砂轮 |蓝膜架 |喷水罩 |刷子类 |拆刀工具 |密封圈 |液体泵 |液体控制器 |磨刀板/石 |陶瓷盘 |其他
- Cutting
  |刀具 |晶圆环 |金属提篮 |子母环 |提篮 |导轮 |其他
- Washer
  |腔体部件 |液体泵 |超声波发生器配件 |控制面板 |设备管阀配件 |其他
- Others
  |钨钼制品类 |真空泵组件 |密封圈 |光学类镜片 |电磁阀类 |陶瓷类部件 |真空阀门类 |蓝膜、白膜类 |其它
Pack-Equip Consumable
- Raw Materials
  |导电胶 |绝缘胶 |固晶胶 |封装胶 |灌封胶 |环氧树脂 |粘和胶 |荧光粉 |其他
- Substrate
  |支架 |框架 |基板 |热沉 |管座 |其他
- Dispensing
  |点胶阀 |针头 |点胶针筒 |点胶头 |针筒固定架 |混合管 |其他
- Crystal Expansion
  |晶圆环 |子母环 |蓝膜、白膜类 |其他
- Wire
  |金线 |铜线 |铝线 |合金线 |金属片 |其他 |打火杆 |劈刀
- Sealing
  |透明胶 |黑胶 |环氧树脂 |封装模具 |针头 |封装胶
- Solid Crystal
  |银胶 |合金 |吸嘴 |瓷嘴 |顶针 |视觉系统 |其他
- Plating
  |单一金属 |合金类 |弥散层材料 |复合层材料 |其他
- Injection
  |塑封料 |塑封模具 |电源整流器
- Others
  |物料盒 |工作台 |烤箱托盘 |其它
Testing-Equip Consumable
- Surface Detection
  |探针 |测试载台 |精密伺服电机 |标准测试片、块 |SEM耗材 |其他
- Electricity Testing
  |电源模块 |探针夹具 |探针 |数字示波器 |其他
- Wafer Thickness Measuring
  |千分表 |大理石平台 |测试头 |支架 |光纤 |其他
- Film Thickness Measuring
  |测试光源 |光纤通道 |椭偏仪配件 |标准块 |其他
- Push&Pull Testing
  |推刀 |钩针 |拉力机 |张力计 |其他
- Machine Vision
  |光源 |CCD组件 |物镜 |分辨率测试块 |其他
- Microscope
  |目镜 |物镜 |环形灯 |光源 |载台及移动组件 |三色片 |CCD组件 |其他
- Others
  |信号线 |保险 |其它

一站式MEMS解决方案

Published on：2017-12-14 Author：3139139

江苏英特神斯科技有限公司MEMS加工平台位于南京浦口高新技术开发区，平台建于2009年，拥有100级净化厂房40平方米，1000级净化厂房300平方米。MEMS加工平台拥有国内一流的MEMS前道加工设备、技术和人才，面向国内和全球客户，提供完整的MEMS器件设计加工服务。
光刻工艺
光刻工艺一般包括前处理、匀胶、对准曝光、显影、烘干等工艺步骤
光刻设备型号：EVG620 双面光刻机
对准精度（20X目镜）
正面0.5um 背面1.0um
处理晶圆尺寸：
衬底直径150mm，衬底厚度0.1~10mm