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IntelliSense MEMS工艺平台

Published on：2017-12-14 Author：3139139

一、 MEMS工艺服务

　　IntelliSense可以为客户提供完整的MEMS设计与加工服务，我们将专业的MEMS设计软件IntelliSuite与实际工艺相结合可以为您提供更专业更优质的服务。

二、工艺案例

　　(一)用于气体流量传感器的镍敏芯片制成工艺

1.版图设计         2.模型设计分析     3.芯片制作         4.封装测试
关键工艺：

　　◆ 应力可控薄膜制作工艺

　　◆ 厚度小于1微米网状氮氧化硅薄膜(最小厚度可达750nm)

　　◆ 高TCR：大于5000ppm/℃

　　◆ 镍材料的淀积改性

　　◆ 细线条刻蚀
(二)基于多种材料和工艺的微流控芯片制造技术
1.版图设计         2.模型设计分析    3.工艺制作         4.完成检查测试
关键工艺：

　　◆ 硅基沟道，玻璃基沟道，PDMS沟道制作工艺

　　◆ 多种金属电极制作(腐蚀/lift-off工艺)

　　◆ 多层/多种键合技术

　　◆ 多种模具制作工艺(SU-8 材料，硅材料等)

　　◆ PDMS-玻璃键合技术

　　◆ 玻璃打孔、带介质层的阳极键合技术

 

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