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IntelliSense测试平台
IntelliSense 可以为客户提供各种MEMS器件与工艺参数的测试服务。
一、 IntelliSense压力传感器测试系统
1、 遵循JB/T 10524-2005标准的测试系统;
2、 包括压力控制器、高低温试验箱(-60℃~150℃)、高精度稳压电源、万用表;
3、 可以精确测得传感器的非线性、灵敏度、重复性、迟滞、精度、温度稳定性等各项参数指标。
二、 各种MEMS测量、检测能力
1、激光扫描显微镜
用于半导体器件的片上表面形貌，三维结构，剖面等全方位精细测量。
2、探针台/半导体参数测试系统
半导体器件表征仪器，主要应用于半导体器件的片上电气测试。可用集成的脉冲发生器和选择开关自动完成器件表征，用内置的应力测量模式完成晶片的可靠性测试。可完成准静态的电容对电压的测量。确保器件质量及可靠性，缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
3、半导体薄膜检测仪
精确测量硅基上的二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、多晶硅等单层和双层薄膜的厚度。
4、半导体台阶轮廓检测仪
精确测量表面2D台阶形貌，可测量台阶范围：0-130μm，扫描长度范围：0-10mm。
5、半导体逻辑分析仪
主要应用于半导体芯片的数学信号波形测量与产生特点输入脉冲向量，精确测量精密的时序关系。
6、方块电阻测试仪
采用四探针的原理对半导体工艺过程中的表面薄膜方阻进行测试，可以便捷快速的测得薄膜的技术参数。
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