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高温真空炉的热场设计及改进

Published on:2017-12-27 Author:c82379666

    高温真空炉的热场设计及改进,主要包括直拉单晶炉、多晶铸锭炉、碳化硅、砷化镓、磷化铟、碲化镉、氮化铝晶体生长炉,功能陶瓷等高温真空炉的热场设计及改进,以及高温热场方面的合作开发研究。

 

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