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苏州甫一电子科技有限公司是由来自海内外的团队人员及专业的高科技投资公司共同出资创建的一家以设计、开发和制造MEMS器件为主的高科技技术企业,公司专注于微纳传感器、微流控器件、微纳制造等领域的设计、研发、生产和服务。目前产品主要有MEMS微流控芯片和微喷嘴,主要应用在水质监测、生物医学、高端异型纤维纺丝等领域。
苏州甫一电子科技有限公司具有半导体及MEMS微器件的深度订制、设计仿真、加工和生产能力,尤其在非硅基的UV-LIGA技术方面。包括但不限于以下服务:
1、MEMS器件设计仿真:结构仿真、热学仿真、薄膜应力仿真等
2、专业的4/6/8inch MEMS委托加工线
3、UV-LIGA技术:采用UV-LIGA技术进行各种常规、异型金属结构的加工,如Ni、Cu、Zn、Fe-Ni、Ni-W等
4、三维非硅MEMS加工新技术,系统完整的非硅MEMS支撑技术
5、特殊工艺如蒸发Pt/Au、电镀Au、双面光刻、RIE、DRIE、 ICP、IBE、Bonding等;
6、MEMS后道的减薄、激光划片、TSV三维封装等。
7、光刻版设计和制版服务:全系列石英、苏打玻璃铬掩膜版,制版最小线宽 0.7um,精度 0.07um,面积从3 inch^2到1.4 m^2,满足从高精尖科学研究到大规模企业量产的全方位需求
8、提供光刻胶、化学试剂、硅片、刻蚀设备、SEM、AFM等相关电镜设备和耗材等。Seller Info after you register