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XPS/AES Testing

Published on:2017-02-15 Author:863test

X射线光电子能谱仪(XPS)+饿歇电子能谱仪(AES)

 

 

XPS利用光电效应的原理,测量X射线激发出的光电子能量和计数,对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析;AES利用电子激发出的俄歇电子,对表面进行微区的成分和化学态分析。
 

测试范围:

HHe之外的所有元素

分析深度约5nm(AES3nm)

检测下限约0.1%

空间分辨率约30μm(AES10nm)

 

服务项目:

各种固体表面的元素成分

化学价态

分子结构分析

深度剖析
       表面异物分析

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