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适用于最大尺寸300mm晶圆的干燥技术
优点
NID™干燥系统利用IPA和N2雾化分配,以及晶圆与水脱离时形成了表面张力干燥的技术
适用于最大尺寸300mm晶圆的干燥技术
> 可单台设备或整合在湿法设备中
> 最佳的占地
> 成熟的工艺
> 无水迹
> 无碎片
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