主要技术规格:
1、平面平晶 YDF-1标准外形尺寸单位:mm
规格30 45 60 80 100 150 200 250
直径30 45 60 80 100 150 200 250
高度15 15 20 20 25 30 40 45
特殊规格尺寸平面平晶,环形平面平晶,方形平面平晶可定做。
2、平面平晶制成两种精度:1级和 2级
3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为:
直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm
直径为 30至60mm 2级平晶 0.1μm
直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm
直径为 80至150mm 2级平晶 0.1μm
更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值,根据国家标准。
4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为:0.03μm
5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。
检测方法:用干涉条纹来计算平晶的面形误差 如果要定量计算,一般最好是用移相干涉法,可以得到每一点的相对高度,从而得到整个面的面形。如果只有一幅干涉图,就只能倾斜平晶或者参考镜使得干涉条纹变成密集的直线组,然后用傅里叶变换法求解。 如果只是定性的看一看面形好坏则比较简单了,如果条纹都是直条纹,说明面形是好的,如果条纹弯的就说明面形不好,弯的越厉害面形越差。