射频电源、射频自动匹配器_Instrument_Sensor and Chip_Equipment

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针对低功率、载行应用，VERG® 系列射频电源小巧、轻便，拥有空冷式设计。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。

VENA系列自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

匹配功率范围	0-1000W
工作频率：	13.56MHZ
正常工作反射功率	＜3W
匹配时间	＜3S
传输效率	＞90%
匹配器电源	AC220V/50-60HZ
输入连接器	N型
输出连接器	UHF
控制模式	手动/自动
可设预置点数	7
匹配阻抗范围	实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)
匹配器尺寸	450x294X151MM
整机重量	9.5KG
冷却方式	强制风冷

功率范围	0-1000W（连续可调）
工作频率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	连续输出
显示器	LCD 128*64
射频输出阻抗接口（50Ω）	N-type,female
功率稳定度	≤2W
最大反射功率	200W
谐波分量: ≤dBc	-50
失真（dbc）	-60
相应时间（ms）	100
关机时间（ms）	200
电源保护设置	DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护
控制模式	内控/PLC模拟量/RS232\485通讯
供电电压/频率	单相交流（187V-253V）50-60HZ
整机效率:≥%	70
冷却方式	强制风冷
整机重量	13.5KG
整机尺寸:H x W x D(mm)	88 x 483 x 500