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    射频电源、射频自动匹配器

    Applied to the semiconductor industry:

    Sensor and Chip-Instrument

    Product brand

    K-mate

    Specification model:

    VERG-600\VENA-600

    Delivery period:

    5个工作日Day

    In stock:

    20

    Place of origin:

    China-广东省

    Quantity:

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    price:

    Negotiable
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    Concerned Products

    Brand:K-mate

    model:VERG-600\VENA-600

    Own series:Sensor and Chip-Instrument

    VERG\VENA系列射频电源及自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,主要功能是实现全自动匹配,解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动,快速,可靠,高效,准确,节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

    优势

    ●性能安全可靠,长时间工作稳定
    ●实时反射功率测量与控制
    ●优化设计、安装、使用与维修十分简便
    ●传输效率高,运行噪音小
    ●屏蔽效果好
    ●可外接匹配控制盒,与其他射频功率发生器配合使用

    特点

    ●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
    ●优化的匹配算法加速匹配时间
    ●最大限度地减少驻波比与反射功率
    ●严格的可靠性测试

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