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    H/2H系列滑阀真空泵

    Applied to the semiconductor industry:

    Subsidiary Equipment-Vacuum Pump-机械泵

    In stock:

    99

    Place of origin:

    National

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    model:

    Own series:Subsidiary Equipment-Vacuum Pump-机械泵

     概括

    H/2H系列滑阀真空泵是排除一般性气体和含有少量可凝气体(使用气镇装置)的真空获得设备之一。当抽除含氧量过高、有爆炸性气体、对黑色金属有腐蚀性的、对泵油起化学反应的气体时应增加附加装置才能保证正常使用。

    本系列滑阀真空泵采用了多项先进技术,对滑阀杆离心惯性力进行了动平衡设计,在国内首次实现大泵双缸结构(2H系列),在气路设计等方面进行了改革,本泵具有体积小、真空度高、振动噪声小、运转平稳、功耗小等突出优点。

    本系列泵可单独使用,也可作为其他真空泵的前级泵。适用于真空镀膜设备、宇航模拟设备、单晶炉多晶炉设备、真空干燥、真空浸渍、真空冶炼等场合。

     

    型号/性能/参数(Type-Performance-parameter)

     

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    请问你们这个是油泵还是无油的?抽气速率、抽气量、返流率多高?

    qwghh  2017-08-04

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