MIH1000-D3气体混合配比仪_无毒气体类_MFC_Sensor and Chip_Equipment

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产品特点

概要

MIH1000-D3气体混合配比仪（混气仪）的核心部件为气体质量流量控制器，可以对各组份气体的流量进行精确控制，并配备高效混气装置，可以将各组份气体均匀混合后输出。

操作简单，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。

MIH1000-D3气体混合配比仪（混气仪）配有数码表头，可以显示各路MFC的瞬时流量，前面板上的旋钮可以调节设定各路MFC流量。

产品特点

◆精度高：采用高精度质量流量控制器，质量流量控制器的精度为±1%F.S.重复精度优于±0.2% F.S.，线性优于±0.5% F.S.（可定制更高精度）；
◆可同时配制3种标准气体；
◆稀释比范围宽：可从1ppm到100%进行稀释；
◆响应时间快：配比出稳定浓度气体的时间短，大大减少用户试验时间以及气源消耗；
◆抗腐蚀：管路系统均采用标准316L不锈钢配件，对腐蚀性气体及有毒有害气体均可以进行配气；
◆混气均匀：汇流处配有高效混气装置，让进入其中的各支路气体快速、均匀地混合；

◆一个显示表控制一路气体，清晰可见

◆提供电缆控制接口

应用行业

可广泛用于气体浓度传感器校准、半导体以及特种材料研究（CVD）、等离子刻蚀、脱硫脱硝、焊接、气调保鲜、消毒杀菌、医疗及微电子工业用混合气的配制，主要使用对象是大中专院校的实验室、科研院所以及从事气体分析仪器研发和气体检测领域的高新技术企业。

产品尺寸（高*宽*深）：185*400*350 MM

控制原理	PID闭环控制
配气种类	多组分配比
浓度调节范围	0～100％
准确度	±1％F.S. (≤15SLM)
流量	0～300SLM（可进行非标制造）
工作压差范围	0.15～0.5MPa
响应时间	≤2sec
输出信号	标准RS485.RS232（可选）
介质输入温度	5～45℃
工作环境温度	5～45℃
工作环境湿度	＜80RH
供电电源	220VAC±10，50Hz
进出气连接形式	双卡套接头（可选）
显示方式	数码管表头