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Current Position: Home » Consumable » Materials » Chemicals » 酸碱类 »电子级氢氟酸(HF)
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    电子级氢氟酸(HF)

    Applied to the semiconductor industry：

    Materials-Chemicals-酸碱类

    In stock：

    1000

    Place of origin：

    China-上海市

    Quantity：

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    Price：

    Negotiable
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    Brand：

    Model：

    Own series：Materials-Chemicals-酸碱类

    氢氟酸（HF）
    电子级氢氟酸(HF)
     CAS：7664-39-3        EINECS：231-634-8      NIOSH/RTECS：MW7875000
     UN：1790             危险品等级： 8
     分子式：HF               分子量：20.01
     含量：49±0.2%           包装：200L清洁桶或依客户要求
    用途：在电子工业中用作强酸性腐蚀剂，主要用于集成电路制造工艺中硅片清洗、
         腐蚀工序，可与硝酸、乙酸、氨水和双氧水配合使用

     

    检测项目
    标准
    总酸度(以HF计)
    49±0.2%
    色度 （Hazen）
    ≤10
    氟硅酸(H2SiF6)
    ≤10 ppm
    氯化物(Cl-)
    ≤200 ppb
    硝酸盐(NO3-)
    ≤100 ppb
    磷酸盐(PO43-)
    ≤100 ppb
    硫酸盐(SO42-)
    ≤200 ppb
    钠(Na)
    ≤1 ppb
    镁(Mg)
    ≤1 ppb
    铝(Al)
    ≤1 ppb
    钾(K)
    ≤1 ppb
    钙(Ca)
    ≤1 ppb
    铬(Cr)
    ≤1 ppb
    锰(Mn)
    ≤1 ppb
    铁(Fe)
    ≤1 ppb
    钴(Co)
    ≤1 ppb
    镍(Ni)
    ≤1 ppb
    铜(Cu)
    ≤1 ppb
    锌(Zn)
    ≤1 ppb
    钼(Mo)
    ≤1 ppb
    银(Ag)
    ≤1 ppb
    镉(Cd)
    ≤1 ppb
    铅(Pb)
    ≤1 ppb
    颗粒
    ≥0.5μm,≤5个/ml

     

     
     
    备注：上表是49%电子级氢氟酸产品规格单, 可根据客户需求定制特殊规格产

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