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    立式扩散炉

    Applied to the semiconductor industry:

    Processing Equipment-Furnace

    Product brand

    santech

    Specification model:

    8-12寸硅片使用

    Delivery period:

    一个月Day

    In stock:

    20

    Place of origin:

    China-山东省

    Quantity:

    cut back increase

    price:

    Negotiable
    Transaction guarantee Secured Transactions Online banking to pay

    consumer hotline:00864001027270

    Brand:santech

    model:8-12寸硅片使用

    Own series:Processing Equipment-Furnace


    本设备是由加热器以及炉内部件采用立式的方法配置,是用于在石英管内的扩散、氧化、CVD、热处理的设备。组成部分:主要是由加热系统、电气控制系统、自动装片机构等组成。
    常压扩散

    主要参数:
    规格
    生成膜: 氧化膜(Dry氧化)
    处理数(片/批量): Product  wafer:150片
    Dummy wafer: 15片 
    Monitor wafer: 5片 
    膜厚(埃): 1000
    生成周期(批量): 3
    膜厚均匀性:片内±3%;片间±3%;批间±3%
    ※注:以上数据为清洗后的参数

    样式
    片间距: 5.2mm
    温区数量: 4段温区
    炉膛有效使用内径:φ335 mm
    使用温度: 600-1250℃
    MFC数量: 6路(最大12路)
    气阀控制: 24V电磁阀最大配置24路 

    自动装片机构部分主要参数:
    载片机:一次传送5片
    可变吸盘移动范围: 5.2-13mm
    载片转台(2段式): 最大8盒

    外形尺寸及重量 
    外形尺寸: 1000mm*1940mm*3200mm(长*宽*高)
    重量: 1500Kg

    设备功率
    加热部分50KVA,控制部分5KVA

    冷却水
    给水参数:水压0.35MPa,流量10L/min
    排水参数:水压≤0.5MPa,
    水质:PH 7-8软水,电阻率10KΩ-cm以上,水温23±3℃
    ※ 请用精度大于70μm的除尘网。
    低压扩散
    主要参数:
    规格
    生成膜: Poly,Si3N4,TEOS
    处理数(片/批量): Product wafer:150片
                       Dummy wafer:  15片
                       Monitor wafer:5片
    膜厚(埃): 1000
    生成周期(批量): 3
    膜厚均匀性:片内≤±3%;片间≤±3%;批间≤±3%
    ※注:以上数据为清洗后参数。

     
    样式
    片间距:5.2mm
    工作温度范围:450-850℃(炉内温度)
    温区数量:4段温区
    加热器长度:1350mm
    加热器有效口径:Φ335mm
    工作压力范围:30-133pa
    系统极限真空度:0.8pa
    MFC数量:6路(最大12路)
    Interlock port:24路(最大36路)

     
    自动装片机构部分主要参数:
    载片机: 一次传送5片
    可变吸盘移动范围: 5.2-13mm
    载片转台(2段式): 最大8盒

     
    外形尺寸及重量
    外形尺寸: 1000mm*1940mm*3200mm(长*宽*高)
    重量:1500Kg

     
    设备功率
    加热部分50KVA,控制部分5KVA,泵12 KVA

     
    冷却水
    给水参数:水压0.35MPa,流量10L/min
    排水参数:水压≤0.5MPa,
    水质:PH 7-8软水,电阻率10KΩ-cm以上,水温23±3℃
    ※ 请用精度大于70μm的除尘网。

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    推拉舟行程多大?速度范围和精度怎么样?

    shangdangshengjie  2017-08-25

     您好!
    推拉舟行程可以定制,标准机台行程是1460mm,速度3mm/min~1000mm/min采用闭环控制,如详细咨询请来电18661720798
    谢谢

    2017-08-25

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