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加工片架、片盒规格:最大兼容156mm×156mm方片或8”圆片
单台片盒数量:2盒、4盒、6盒、8盒
工作转速:100~2400r/min(LXS-400) 100~900r/min(LXS-600;LXS-800)
DI水压力:0.25~0.3MPa(2.5~3.0kgf/cm2) 耗量:12L/min(Max)
N2压力:0.25~0.3MPa(2.5~3.0kgf/cm2) 耗量:200L/min(Max)
N2加热温度:100℃±5℃
外型尺寸:1490×1290×910(mm)
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