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1、主要用于半导体晶圆2〞、3〞、4"、6"的除蜡和清洗；
2、清洗槽为双层结构，外槽为SUS316，内槽为石英槽GE214；
3、骨架材料不锈钢，外包板和门板为德国进口PP板，观察窗为透明PVC；
4、外围直接连接药液供给设备、纯水设备；
5、外槽有超声波和内槽有抛动系统，辅助设备清洗；
6、采用伺服电机、导轨、丝杆提升、横移，运行更稳定，准确；
7、输送精准≤0.3mm，温控精度≤0.5℃；
8、装有排气系统，确保环境条件；
9、PLC全程序控制及触摸屏人机界面操作。
