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    华林科纳新型高效废气处理系统

    Applied to the semiconductor industry:

    Subsidiary Equipment-Gas Equipment-废气处理

    Product brand

    南通华林科纳

    In stock:

    50

    Place of origin:

    National

    Quantity:

    cut back increase

    price:

    Negotiable
    Transaction guarantee Secured Transactions Online banking to pay

    consumer hotline:00864001027270

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    Concerned Products

    Brand:南通华林科纳

    model:

    Own series:Subsidiary Equipment-Gas Equipment-废气处理

     主要功能:本设备主要采用手动搬运方式,通过对扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管腐蚀、漂洗等方式进行处理,从而达到一个用户要求的清洗效果。主体采用德国劳士领 瓷白PP板,骨架采用不锈钢 外包PP 防腐板;

    1.1.1 设备名称:半自动石英管清洗机

    1.1.2 设备型号:CSE-SC-N401

    1.1.3 整机尺寸(参考):4500mm*1500mm*2100mm;

    1.1.4 被清洗炉管尺寸(Max):

    也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物

    1.1.5 设备形式:室内放置型;

    1.1.6节拍:约1--12小时(节拍可调根据实际工艺时间而定)         

    1.1.7 操作形式:半自动

    1.2 设备描述

    l 此装置是一个半自动的处理设备。

    PROFACE 8.0英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作

    l 清洗工作过程由三菱 / 欧姆龙PLC控制。

    1.3 设备特

    l 腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;

    l 设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;

    l 技术先进,结构合理,适宜生产线上大批次操作;

    l 结合华林科纳公司全体同仁之力,多年品质保障,使其各部分远远领先同类产品;

    l 设备上层电器控制系统及抽风系统,中层工作区,下层为管道安装维修区,主体结构由清洗机主体、酸洗槽、水清洗槽、防漏盘、抽风系统、工件滚动系统、氮气鼓泡系统、支撑及旋转驱动机构、管路部分、电控部分。

    l 本设备装有双防漏盘结构,并有防漏检测报警系统,在整台设备的底部装有接液盘。

    l 设备配有在槽体下方配有倾斜式防漏层。

    1.4工艺流程:

    检查水、电、气正常→启动电源→人工上料→注酸→槽体底部氮气鼓泡→石英管转动(7转/min)→进入酸泡程序→自动排酸(到储酸箱)→槽体底部自动注水(同时气动碟阀关闭)→悬浮颗粒物经过溢流坝流出→排水碟阀打开(重颗粒杂质排出)→初级洁净水经过溢流坝溢出→清洗次数重复循环(人工控制)→下料。

     酸洗和水洗在同一槽内完成

     1#,2#可通过循环泵循环使用

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