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1.本石英钟罩清洗设备是手动的半导体工艺清洗湿台,适用于LPE外延炉PE2061(S)、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗,为钟罩清洗部分和浸泡部分共同组成;
2.整机主要由机架、操作台面、排风、清洗槽体、电器控制系统组成, SUS不锈钢制作,外包PP板;
3.清洗时,石英钟罩竖放其中,可作360度旋转,速度为5RPM;旋转台直径为500mm;
4.并配有氮气吹干槽;
5.还根据客户要求设计制作此石英钟罩清洗设备。
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