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工 艺：I线光刻机
工艺能力：0.5微米
衬底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸
传片方式：机械手单片传送，片架到片架传送
二、设备配置：
硅片传输系统
掩膜版自动传输系统
LSA对准系统
FIA对准系统
照明系统
二维精密XY工作台
预对准系统
环境控制器
三、工艺指标
NSR1755I7A是I线步进式光刻机，其曝光波长为365nm；分辨率可以达到0.5um；最大曝光场大小为17.5mm*17.5mm；单机套刻精度能够控制在120nm以内；并能提供大于60片/小时的产能。
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一、基本参数：
工 艺：I线光刻机
工艺能力：0.5微米
衬底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸
传片方式：机械手单片传送，片架到片架传送
二、设备配置：
硅片传输系统
掩膜版自动传输系统
LSA对准系统
FIA对准系统
照明系统
二维精密XY工作台
预对准系统
环境控制器
三、工艺指标
2017-08-04
一、基本参数：
工 艺：I线光刻机
工艺能力：0.5微米
衬底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸
传片方式：机械手单片传送，片架到片架传送
二、设备配置：
硅片传输系统
掩膜版自动传输系统
LSA对准系统
FIA对准系统
照明系统
二维精密XY工作台
预对准系统
环境控制器
三、工艺指标
NSR1755I7A是I线步进式光刻机，其曝光波长为365nm；分辨率可以达到0.5um；最大曝光场大小为17.5mm*17.5mm；单机套刻精度能够控制在120nm以内；并能提供大于60片/小时的产能。2017-08-04
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