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1)先进的热场设计;温场稳定、可靠,使用寿命长,有效降低能耗及耗材消耗
2)采用IGBT高频电源,精度高、效率高,提高晶体品质和成晶率
3)内置隔离系统,集成式炉内退火及快速更换籽晶功能,提高晶体品质及设备利用率
4)防粘锅设计,提高成晶率真及坩埚寿命
5)冷却水入口温度±0.5℃,提高晶体品质和成晶率
5)先进真空管理及气体分配系统
6)安装装置及互锁,提高安全性
7)高精度闭环控制,减少了操作中的人为影响
8)友好的人机界面,生长过程的各项工艺参数显示直观,操作便捷
产品优势:
1)集成一体化工艺:炉内退火,减少开裂及碎晶
2)全球最低每毫米晶体制造成本:低电能及耗材消耗量,同比下降40%
3)首批设备调试时间:缩短至3个月
4)革新性热场设计:经高速计算机模拟验证,提高成晶率
5)热场材料选择:降低能耗及耗材消耗,提高热场稳定性及设备利用率
6)设备利用率及成晶率各提升约15%-20%
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