金属有机物化学气相淀积(metal-Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)技术生长III-V族,II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。 外延技术与设备是外延片制造技术的关键所在,MOCVD设备的核心部件加热器尤为重要,我公司是国内领先的MOCVD内部核心部件加热器的设计、制造企业。
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