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centrotherm E1200专为用于科研项目而设计的,适用于小批量生产和高性能用户,对各种要求的高工艺具有的灵活性。 centrotherm E1200小批量实验室系统,支持多种工艺能力,适用小批量生产和高性能用户,在较小占地面积上即可提供批量生产的所有特征
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺 |
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