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薄膜淀积后,随着温度降低,由于衬底与薄膜热膨胀系数差异,从而导致应力和弯曲(翘曲)。FSM集成世界领先的无损激光扫描技术,每毫米扫描40个数据点,可快速生产2D、3D彩图。 | ||
室温系统 | FSM 128 | 最大样品直径200mm |
FSM 128L | 最大样品直径300mm | |
FSM 128G | 最大样品550×650mm | |
变温系 | FSM 500TC | 电阻加热工作台:温度可控,最高500℃ |
FSM 900TC-vac | RTP型腔室:温度可控,最高900℃(可选1100℃);真空达到 1E-6 Torr |
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