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适用于O2。独家专用技术脱除原料气中的CO、H2、CO2、H2O、CH4、碳氢化合物至PPb级。
※HPC终端OB系列纯化器前端采用氧化催化剂，可将气体中微量的H2、CO、CH4、TCH等杂质转化为H2O、CO2而脱除。终端纯化采用高效吸附剂，在常温下可通过物理吸附深度脱除原料气中的H2O、CO2等杂质。
产品特点 ：
◆脱除杂质深度高
◆吸附容量大， 使用时间长相比国内现有的纯化工艺，HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物，常温工作，节能环保。非消耗型纯化材料，降低成本，纯化深度高，使用寿命长。
应用领域：
MOCVD，MBE（化合物半导体工业）、
SOI(硅晶体生长)、
LED（半导体照明）
IC（大规模集成电路）
PV（光伏太阳能）
气体净化、
光学纤维生产、
惰性气体激光器、
气相色谱仪等
光刻
零点气纯化
