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| 设备用途及特点： |
| 1. 本设备依据主要适用于晶圆的倒角工序，具有操作简单、生产效率高和耗材成本低等特点。 2. 设备主体构件采用天然大理石材质；机器稳定不变形，运动时振动小，是机器保障精度永久不变形的首选。 3. 机床关键部件导轨采用进口精密级，保证机床的高精度。具有高强度导向和运动平稳性，适合高速加工：机床采用进口研磨级丝杆，传动精度高，能确保长时间内机械误差。 4. 设备标配4英寸专用晶圆夹具，提高了生产效率、减少了工人的劳动强度。 5. 运动驱动采用日本进口伺服系统,配合高精度的运动部件，最高运动速度为18m/分，最高倒角速度为15m/分。 6. 采用高精度、高灵敏度日本美德龙自动对刀仪，保证刀具长度自动补偿，确保加工精度。 7. 主轴选用6万转速﹑气动换刀﹑陶瓷轴承电主轴；确保加工光洁度，效率高。 8. 专业三重全防水结构设计,在最恶劣的工况环境下，也能确保丝杆导轨不受污染。 9. 采用意大利水泵，六点式喷水设计，加工中水能均匀全方位的包住磨头；提高刀具的使用寿命、有效的防止晶圆的崩边。 10. 采用台湾宝元专用控制系统，开放式软件接口，自动加工支持完整ISO标准的G指令、HP绘图仪（HP PLT）格式、DXF格式和精雕加工（ENG）格式,支持国内外主CAD/CAM软件。 |
| 主要技术参数： |
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