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PEH系列探针台台体 北京美亚先
特征：
尺寸小型化
轻量化
低成本方案
电学、光学领域应用
发光二极管、激光二极管、PD的光强度和波长测量
射频探测
适用于大学、实验室
4英寸以下晶圆的理想选择
侧面调节吸盘
无回差调节
规格：
真空吸盘材质：4英寸不锈钢 （平整度 ± 10µm）
吸盘调节行程：3英寸X 3英寸（精度10 µm）
吸盘调节角度：0~30度
吸盘：三条真空线槽对应不同尺寸样品
样品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
台板：可容纳最多6个探针座
需求：
电力需求：220V 50Hz交流电
真空泵：真空压强-250毫米汞柱（约-33.3KPa）
尺寸：
320mm宽X 320mm长X 400mm高（包括显微镜）
净重 20Kg，包括显微镜
附件
吸盘推向位置（chuck stage push to position）
真空控制的吸盘调节系统
显微镜倾斜机构以及准确位置快速转换机构
光强度/波长测量适配器
射频探针/电缆
有源探针
低电流/低电容探针
高压探针
超声波切割机（cutter）
视频监控
显微摄影
封装器件夹具
PCB夹具
液晶套件
防振桌面
屏蔽箱
测试工作台
带脚轮的设备箱
吸盘真空图样（Pattern）
镀金吸盘
