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设备名称：台阶仪（Profile-system）
设备型号：Dektak XT
设备厂商：美国Bruke
设备介绍：
基本原理：台阶仪是一种将曲率半径很小的探针和样品表面进行接触，移动探针，测量接触力量的变化，调整探针的高度，从而得到样品的表面形貌。通过该测试，可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据，从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。
主要特点：
● 扫描长度： 50µm-55mm
● 垂直测量范围： 1mm
● 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上
● 垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）
● 探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg
● 探针曲率半径：0.2 um ，2um
● 样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸
应用领域:
设备广泛应用于：触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量● 台阶轮廓扫描
● 表面粗糙度扫描
● 样品翘曲度测量
