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| 多晶铸锭炉NXRJ-MC500 B/P | |||
| 主要功能 | NXRJ-MC500 B/P | 参数 | |
| 产品规格 | 500Kg装料 | 840mmX840mmX304mm | |
| 机身重量 | 主炉体 | 约5500Kg | |
| 操作箱 | 约50Kg | ||
| 控制箱 | 约400Kg | ||
| 电源箱 | 约1800Kg | ||
| 外形尺寸 | 4800mmX3500mmX5100mm | ||
| 腔体 | 内径 | 1870mm | |
| 材质 | 内：SUS316L 厚16mm | ||
| 外：SUS304L 厚8mm | |||
| 高度 | 上腔体：1580mm | ||
| 下腔体：780mm | |||
| 炉盖厚：68mm | |||
| 3组电极中心距 | 900mm | ||
| 观察窗 | 测温及观察：1处 | ||
| 冷却水流路分割 | 螺旋形构造 | ||
| 冷却水排水口 | 炉体各部件最下部 | ||
| 保温体 升降机构 | 升降驱动方式 | 自动/半自动 | |
| 升降行程 | ≤380mm | ||
| 限位开关 | 2处（上限、下限） | ||
| 下炉体 升降机构 | 升降驱动方式 | 半自动 | |
| 升降行程 | ≤950mm | ||
| 限位开关 | 2处（上限、下限） | ||
| 真空度 | 结晶的拉制环境 | 60KPa（工艺要求） | |
| 空的冷炉极限真空度 | 3Pa以下 | ||
| 允许泄露量 | 5Pa/Hr以下 | ||
| 真空管路 | 真空管道的接口尺寸 | ISO 100mm | |
| 控制阀 | 自动/手动 | ||
| 炉压控制精度 | +0.15KPa | ||
| Ar气管路 | 最大流量 | 200L/min(用MFC控制Ar) | |
| 输入压力 | 2.7kg/cm2以上 | ||
| 电气控制系统 | 加热器电源 | 输入电压:AC三相380V(50/60Hz) | |
| 加热器功率:200KW | |||
| 输出控制方式:功率控制/温度控制 | |||
| 功率控制精度:额定直流输出±2%内 | |||
| 冷却水流量:不小于20L/min | |||
| 温度测定 | B型热电偶 | 重复精度:±0.5ºC | |
| 测定范围:0~2000ºＣ | |||
| 红外测温仪 | 重复精度:0.1% | ||
| 测定范围:600~2000ºＣ | |||
| 控制方式 | 控制器构成 | 工业级平板电脑(带触摸屏) | |
| 三菱PLC/基恩士PLC | |||
| 工艺控制方式 | 装料:手动 | ||
| 抽真空:手动/自动 | |||
| 加热:手动自动 | |||
| 溶解、稳定：手动/自动 | |||
| 凝固、结晶:手动/自动 | |||
| 退火:手动/自动 | |||
| 冷却:手动/自动 | |||
| 取出:手动 | |||
| 冷却水系统 | 冷却水源输出输入口 | Φ50mm（2英寸） | |
| 流量 | 300L/min~350L/min | ||
| 水压 | 3Kg/cm2~3.5kg/cm2 | ||
| 进出水压力差 | 2Kg/cm2以上 | ||
| 进水温度 | 20~30ºC | ||
