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本公司具有多年离子注入产品开发经验,可用于科学研究和生产应用。公司现有离子注入机研发至第三代产品,主要有两大系列:MT3-R 实验型、MT3-P 生产型。可根据客户要求,定制开发离子注入机。
本公司研发的离子注入机,离子注入最高能量可达200keV;
产生离子种类包括:
1、N、H、O、Ar等多种气体离子;
2、Cr、C、Fe、Ti、Ni、Au等各种金属离子;
3、可根据客户的需求定制;
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