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脉冲激光分子束外延 (Pulsed Laser MBE)
工作原理:
高功率脉冲激光束聚焦在腔体并轰击用来沉积的靶材。吸收了高能量的激光,靶材会被激发,蒸发,溅射和形成等离子体。最后在存底上沉积成薄膜。这个过程可在超高真空或存在背景气体下(常用氧气)发生。
特点:
应用范围:
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