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SPIN:3组
转速3000rpm/min
最大转速6000rpm/min
转动精度±1rpm/min
加速度100-30000rpm/min/s
触控人机操作界面
chuck自动升降功能(取送晶圆)
自动对中功能(可选)
自动滴胶(可选)
hot plate 50~200℃(可选)
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