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台面布局:
整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。
由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:
(1)设备机架采用钢结构骨架包塑;
(2)壳体采用瓷白色PP板材焊接成型,制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成;
(3)电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离;
(4)槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;
(5)机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟/套PFA管/teflon定制,以期达到防腐耐用;
(6)药液管路中,管子、阀门、接头均为PFA材质;
(7)纯水管路采用C-PVC
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