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    三氟化氮

    Applied to the semiconductor industry:

    Materials-Gas-蚀刻气体

    Product Brand

    派瑞

    In stock:

    1000

    Place of origin:

    China-河北省

    Quantity:

    cut back increase

    Price:

    Negotiable
    Transaction guarantee Secured Transactions Online banking to pay

    Brand:派瑞

    Model:

    Own series:Materials-Gas-蚀刻气体

       包装规格  Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等

    钢瓶容积

    钢瓶型号

    阀门

    钢瓶压力

    气体质量

    危规号

    UN编号

    包装分类

    包装标志

    47L、43.3L、40L、8L

    DOT-3AA、GB5099

    CGA330、CGA640

    9.0-13.0MPa

    22kg、20kg、3.4kg

    23016

    2451

    6

      应用  三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。

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