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- 产品名称:六氟乙烷
- 化学品俗名：全氟乙烷
- 产品分子式:C2F6
- 产品大类:蚀刻类
- 产品细类:蚀刻类
- 产品规格:5N:
- 储存方式:钢质气瓶
| 产品说明 | 六氟乙烷（hexafluoroethane），又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是卤代烃（化学式：C2F6），亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。 |
| 产品用途 | 用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂。 |
| 注意事项 | 本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。本品不燃。 |
| 应用行业 | 半导体 |
