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    金属蒸发材料 蒸发镀膜材料

    Applied to the semiconductor industry:

    Proc-Equip Consumable-PVD-镀源、靶材

    Product Brand

    领势

    In stock:

    100

    Place of origin:

    China-河南省

    Quantity:

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    Price:

    1.00
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    Consumer Hotline:00864001027270

    Brand:领势

    Model:

    Own series:Proc-Equip Consumable-PVD-镀源、靶材

    金属蒸发材料 蒸发镀膜材料
    通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。

    蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。

    蒸发源有三种类型。电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质电阻加热源主要用于蒸发CdPbAgAlCuCrAuNi等材料;高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质;电子束加热源:适用于蒸发温度较高的材料,即用电子束轰击材料使其蒸发。

    材料及符号

    纯度

    规格

    高纯铬(Cr)

    4N

    块状, 粉末

    锌(Zn)

    4N

    丝材,颗粒

    钒(V)

    4N

    丝材,颗粒,粉末

    钨(W)

    4N,5N

    丝材,颗粒,粉末

    钛(Ti)

    3N,4N

    丝材,颗粒

    碲(Te)

    4N,5N

    颗粒,粉末

    钽(Ta)

    3N5,4N

    丝材,颗粒,粉末

    银(Ag)

    4N

    丝材,颗粒

    硅(Si)

    4N,5N

    颗粒,粉末

    硒(Se)

    4N

    颗粒,粉末

    铼(Re)

    4N

    颗粒,粉末

    铂(Pt)

    4N

    丝材,颗粒,粉末

    钯(Pd)

    4N

    丝材,颗粒,粉末

    铌(Nb)

    3N5,4N

    丝材,颗粒,粉末

    镍(Ni)

    3N,4N

    丝材,颗粒,粉末

    钕(Nd)

    3N5

    丝材,颗粒

    钼(Mo)

    3N5,4N

    丝材,颗粒,粉末

    锰(Mn)

    3N,4N

    颗粒,粉末

    镁(Mg)

    4N

    丝材,颗粒

    镧(La)

    3N5,4N

    颗粒

    铱(Ir)

    3N,4N

    丝材,颗粒

    铟(In)

    5N

    丝材,颗粒

    石墨(C)

    4N,5N

    颗粒,粉末

    金(Au)

    3N,4N

    丝材,颗粒

    锗(Ge)

    4N,5N

    颗粒

    铜(Cu)

    4N

    丝材,颗粒

    钴(Co)

    4N

    丝材,颗粒

    铬(Cr)

    2N5,3N

    颗粒,碎块,粉末

    铈(Ce)

    3N5

    丝材,颗粒

    硼(B)

    4N,5N

    颗粒,粉末

    铝(Al)

    4N,5N

    丝材,颗粒

     

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