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灵活的生产过程使我们能适当的调整靶材的微观结构来达到客户想要的效果,如果溅射靶材的晶粒大小均匀一致,用户可以获得良好的溅射速率和均匀镀膜层。下图是镍钒 (93/7wt%) 合金溅射靶材的显微金相检测图片,平均粒径<100μm。
我们生产高纯度的铝溅射靶材,它最大的好处是在物理气相沉积的过程中,能获得具有优异的导电率和颗粒最小化的薄膜。下面的表格是3N5的高纯钴镍钒(93/7wt%) 合金溅射靶的成分分析证明书。
分析方法:
1.使用GDMS 或ICP-OES 对金属元素进行分析;
2.使用LECO 进行气体元素分析。
此外,我司还可生产各种镍合金靶材,如镍铝,镍钴,镍铜,镍钒,镍钨,镍铬硅等合金靶材,并可按照您对靶材成分,尺寸,晶粒度的不同要求来生产。如有任何产品需求,请与我们联系。
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