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- 在溅射过程中可支撑脆性靶材， 如陶瓷靶和软金属材料；
- 在溅射过程中起到热传递的作用。
背板材料的选择需考虑以下因素：
- 背板材料和靶材的热传递性；
- 导电性；
- 抗冷却水压的机械性能及热循环效果；
- 重复利用性
我司可提供以下背板材料:
无氧铜背板
无氧铜背板为使用最广发的背板，其具有良好的导热性和导电性，且易于加工。正常情况下铜背板可重复利用20次以上。
钼背板
钼背板适用于高温绑定，然而铜背板在高温下较易氧化或者变形。当铜背板与靶材的热膨胀系数不匹配时，钼背板可与一些热膨胀系数小的靶材匹配。
铝背板
铝背板具有同样的导热性，并可与靶材的热膨胀系数匹配，且适用于扩散焊绑定。
不锈钢背板
不锈钢背板通常适用于旋转靶的背管，成本较低且可回收利用。
此外，我司也可生产铜锌合金背板和铜铬合金背板，若有任何需求，欢迎前来咨询。
