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氧化物蒸发镀膜材料蒸发镀膜材料
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。

蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。

蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料;②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质;③电子束加热源:适用于蒸发温度较高的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。

材料及符号	纯度	规格
二氧化锆(ZrO2)	3N	白色或者黑色颗粒,压片
氧化铟掺氧化锌(IZO)	3N	颗粒，粉末，压片
氧化铝掺氧化锌(AZO)	3N	白色颗粒/压片
氧化锌(ZnO)	3N	白色颗粒/压片
五氧化二钒(V2O5)	3N	淡黄色颗粒
氧化钨(WO3)	3N	黄色或浅蓝色颗粒，压片
二氧化钛(TiO2)	4N	白色或灰色颗粒，压片
五氧化三钛(Ti3O5)	4N	黄色颗粒，压片
三氧化二钛(Ti2O3)	3N	黄色颗粒，压片
五氧化二钽(Ta2O5)	3N	灰白色或灰黑色颗粒，压片
二氧化硅(SiO2)	3N	透明颗粒,白色压片
一氧化硅(SiO)	4N	棕黑色颗粒,粉末
氧化钪(Sc2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化锑(Sb2O3)	3N	灰色颗粒，压片
氧化钐(Sm2O3)	4N	灰色颗粒，压片
氧化镨(Pr6O11)	3N	深黄色颗粒
五氧化二铌(Nb2O5)	4N	白色颗粒，压片
一氧化镍(NiO)	3N	绿色颗粒，压片
氧化钕(Nd2O3)	3N	浅紫色颗粒，压片
氧化钼(MoO)	3N	颗粒，粉末，压片
氧化镁(MgO)	3N	白色颗粒
氧化镥(Lu2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化镨(Pr6O11)	3N	浅紫色颗粒，压片
三氧化二铟(In2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化钆(Gd2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化铕(Eu2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化铒(Er2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化镝(Dy2O3)	4N	颗粒，粉末，压片
氧化铜(CuO)	3N	棕黑色颗粒，压片
三氧化二铬(Cr2O3)	3N	绿色颗粒，压片

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