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金属靶材（单一元素）
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材料及符号 |
纯度 |
规格 |
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纯铜靶（Cu） |
3N,3N7,4N,5N,6N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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纯铝靶(Al) |
4N,4N5,5N,6N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
|
纯铬靶（Cr） |
2N5,2N8,3N,3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
|
纯钛靶(Ti) |
2N7,3N,4N,4N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
|
纯锆靶(Zr) |
2N5,2N8,3N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯铌靶(Nb) |
3N,3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钼靶(Mo) |
3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钽靶(Ta) |
3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯镍靶(Ni) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯锡靶(Sn) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯银靶(Ag) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
石墨靶(C) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯锌靶(Zn) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯铟靶(In) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯硒靶(Se) |
3N5,4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯硅靶(Si) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯镁(Mg) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钨靶(W) |
3N,3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钒靶(V) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯硼靶(B) |
3N,4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯镉靶(Cd) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯铈靶(Ce) |
2N5,3N,3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯铕靶(Eu) |
2N5,3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯锗靶(Ge) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯金靶(Au) |
3N,4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯镧靶(La) |
2N5,3N,3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯锰靶(Mn) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钕靶(Nd) |
2N5,3N,3N5 |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钯靶(Pd) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯铂靶(Pt) |
3N,4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯铼靶(Re) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯钌靶(Ru) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯锑靶(Sb) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
|
纯碲靶(Te) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶 |
