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Testing-Equip Consumable
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全自动硅片腐蚀清洗机

Applied to the semiconductor industry：

Cleanning Equipment-Aci&Alk Cleaner-半导体材料腐蚀清洗机

Product brand

NXXD

In stock：

Place of origin：

China-北京市

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Negotiable

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after-sale warranty

Brand：NXXD

model：

Own series：Cleanning Equipment-Aci&Alk Cleaner-半导体材料腐蚀清洗机

1、人性化的操作界面，采用先进触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率；
2、工艺槽可任意搭配调整，来满足不同的工艺需求，设定好程序，由机械手来执行完成；
3、可实现自动供补药液；
4、全面完善的防腐措施，合理的排风系统，有效避免酸气外溢，保证安全健康的工作环境；
5、采用国际知名品牌的电气元件。

advisory

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设备名称：全自动硅片腐前清洗机
产品用途		用于硅片的清洗
机械手		配置两套直线传输方式机械手
控制方式		PLC和触摸屏
机台CDS配置		1个CDS机柜，碱性清洗剂采用双桶单泵供液方式
设备外形尺寸		长×宽×高=10000（mm）×2500（mm）×2300（mm）（参考）
槽体配置
序号	上下料位溢流槽		1# 2# 碱液清洗槽	4#、6#、9# 溢流槽	3# QDR槽	5# SC-1槽	7# 溢流传递槽	8# SC-2槽	热水储存箱
药液名称	上RO水下DI水		碱液+RO水	4#RO水 6#、9#DI水	RO水	NH4OH+ H2O2+DI	DI水	HCL+ H2O2+DI	1#、2# RO水 5# DI水
供液方式	厂务提供		自动供（补）液	厂务提供	厂务提供	自动供（补）液	厂务提供	自动供（补）液	厂务提供
槽体材料	NPP、PVDF		SUS316	4#NPP 6#、9# 石英	NPP	石英	PVDF	石英	SUS316 PVDF
管件材料	PP PFA		SUS316 PFA	PFA	PP/PFA	PVDF/PFA	PFA	PFA	PFA
抛动上下+左右	N/A		有	有	N/A	有	N/A	有	N/A
溶液温度	RT		RT90℃	RT	RT	RT90℃	RT	RT	RT90℃
热水箱	N/A		RT90℃热水储存箱	N/A	N/A	RT90℃热水储存箱	N/A	N/A	N/A
温度控制方式	N/A		独立温控器	N/A	N/A	独立温控器	N/A	N/A	独立温控器
超声	N/A		37KHz 1.5KW	37KHz 9#80K	N/A	37KHz 1.5KW	N/A	N/A	N/A
氮气鼓泡	上载有		N/A	有	有	N/A	N/A	N/A	N/A
溢流	N/A		溢流和定液位清洗可切换	有	有	N/A	有	N/A	N/A
液位检测	N/A		双N2微压	N2微压	N/A	双N2微压	N2微压	N2微压	绑管式
自动槽盖	N/A		有	N/A	N/A	有	N\A	有	N/A
排液方式	重力直排		重力直排	重力直排	快排	重力直排	重力直排	重力直排	重力直排
药液供给配比	N/A		液位传感器控制	N/A	N/A	液位传感器控制	N/A	液位传感器控制	N/A
防漏盘	有		有	有	有	有	有	有	有
原液桶	厂务提供
设备装载能力	25-30 kg/篮

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Service Hotline

4001027270

Function and characteristics

Prices and offers

WeChat public number

1	设备质保	我司对设备整体质保 2 年（消耗品除外），提供备品备件。
		我司保证所有材料和零部件的质量、规格、品牌、产地与合同要求相符。
		质保期内非因甲方或其工作人员故意，而出现设备故障，乙方保证在接到甲方通知24Hr内到达现场，并在最短时间内解决，人工费、差旅费以及零部件费用，由乙方承担。
		质保期内因甲方或其工作人员故意操作原因出现设备故障，乙方保证在接到甲方通知24Hr内到达现场，并在最短时间内解决。其间因发生的更换零部件费用由甲方承担，人工费、差旅费由甲方承担。
		质保期外{非}操作原因出现设备故障，乙方保证在接到甲方通知24Hr内到达现场，并在最短时间内解决。其间因发生的更换零部件费用由甲方承担，人工费、差旅费由乙方承担。
2	技术服务	我司每季度会派相关工程师到贵司现场对设备进行维护检查（争取甲方意愿）。
		电气工程师：会根据贵司技术人员的提议，对设备的软件程序操作进行维护升级，使之更贴合设备的使用需求。
		机械工程师：会对设备的机械部分，做相关的维护保养；对设备管道部分做维修、维护，及时的排查安全隐患。并及时与现场工程师做好技术交接，减少不必要的设备故障。
3	技术优势	A、我司技术团队，具有多年的全自动湿法清洗设备的设计和制造经验，更多的为客户的使用和操作着想。
		B、我司能最大化的压缩设备体积，减少设备厂房的占空比；缩少设备槽体体积，减少药液的使用量。

全自动硅片腐蚀清洗机

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