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l 骨架：优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐焊接而成；
l 外壳：德国进口10mm瓷白PP板热焊接而成；
l 防护门：正面操作侧采用透明上下推拉门；
l 管路：管路位于机台下后部，以节省空间，采用英制接口；
l 药液回收区位于设备左后下部；
l 设备2#与3#处有活动推拉挡板；
l 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；
l 工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）；
l DI/N2 GUN：可伸缩的N2 Gun和DI水枪各把，置于右侧；
l 台面板为德国10mm PP板（带有漏液孔）；
l 人机界面：Touch Screen彩色界面；
l 支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；
4.控制系統
l PLC可程式控制器（欧姆龙）＋Touch Screen彩色人机界面操作。
l 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式；
l 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
l 配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护；
l 具Password功能以避免操作人员误改参数：
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入手动模式。
Password-3可进入编辑模式修改制程参数。
5.安全保护
l 设备采用耐腐蚀导线并通过PE管进行保护，防腐防水；
l 设有防漏电断路保护装置；
l 电控部分正压空体保护，防水防腐；
l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
l 药液回收区配有独立抽风，和底部滑动滚轮，便于拿放回收桶；
l EMO 装置紧急按钮开关；
l 蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；
l 机台底部设有防漏盘及漏液感知；
l 液位异常感知/安全液位保护；
l 配有加熱保护；
