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采用高性能可编程控制器实现逻辑控制
采用彩色液晶汉显监控,可存储百种用户工艺菜单
结构采用洁净化处理技术
去离子水电阻率监控
防静电控制
氮气温度控制
腔体温度控制
转轴氮气密封
无刷电机驱动
旋转载体定位
故障诊断,显示及报警
CXS系列型号说明
CXS系列型号特征与设备性能、功能的对应关系
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