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4001027270
性能特点
l 采用高性能可编程控制器实现逻辑控制。
l 采用彩色触摸显示屏监控，可存储百种
l 结构采用净化处理技术。
l 去离子水电阻率监控。
l 防静电控制。
l 氮气温度控制。
l 腔体温度控制。
l 转轴氮气密封。
l 可选无刷电机驱动。
l 旋转载体定位。
l 故障诊断、显示及报警。
l 可按用户特殊要求配制。
consumer hotline：00864001027270
性能特点
l 采用高性能可编程控制器实现逻辑控制。
l 采用彩色触摸显示屏监控，可存储百种
l 结构采用净化处理技术。
l 去离子水电阻率监控。
l 防静电控制。
l 氮气温度控制。
l 腔体温度控制。
l 转轴氮气密封。
l 可选无刷电机驱动。
l 旋转载体定位。
l 故障诊断、显示及报警。
l 可按用户特殊要求配制。
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