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八英电动移动平台
X-Y-Z-R移动行程分别为200mm/200mm/30mm/15degree
X-Y-Z移动精度1um;R:0.01degree
机台由PC控制,软件可以建立wafer map
系统可以根据工程人员建立的wafer map自动点针
系统可以搭配高倍显微镜和体式显微镜两种光学系统
光学部分搭配100万象素的数字CCD
系统具有自动校验功能
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