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一、设备名称：手动贴蜡机，研磨机（含开槽机），抛光机
二、数量及品牌：一条InP 晶圆加工线，厂家：日本ENGIS 株式会社。
三、技术参数：
3.1 设备总体描述：该生产线主要用于2-4inch InP 晶圆的背面减薄。
手动上蜡机：将InP 晶圆正面粘贴在高平坦度陶瓷盘上，用于后段单面研磨及抛光。
研磨机：用来初步减薄InP 晶圆背面，尽量减少背面损伤层。
＠开槽机:用于开研磨盘沟槽，保证研磨品质稳定。
抛光机：将研磨后的InP 晶圆进行抛光，消除背面损伤层。
3.2 设备规格及其型号：
手动贴蜡机：
设备的设计理念及特征
将陶瓷盘加热，在陶瓷盘上均匀涂上固体蜡，将InP 晶圆均匀粘贴在陶瓷盘上。
并将上部的冲压头靠气缸压力来压着粘有晶片的陶瓷盘，让InP 晶圆牢固粘贴在陶瓷盘上。
主要规格：
设备型号EBM-200-1AL-TC
粘贴压力MAX 100kgf at 0.25MPa Silicon Pad
粘贴尺寸MAX OD 200mm
腔U/D 气缸Pneumatic ram OD63 Stoke:170mm
腔真空真空发生器
冷却不锈钢水管套
时间控制真空和压力
尺寸400mm(W) 300mm(D)730mm（H）
重量约100kg
特点：
水冷系统用专用冷水机控制水温
时间控制系统采用电动气阀
真空腔用真空发生泵
硅胶加压PAD 晶圆TTV,BOW,WARP 稳定性高
设备要求：
真空0.6 MPa
选配:
1， 冷水机；2，加热台EC-1200N；3，ENGIS 固体蜡；4，陶瓷盘
单面研磨设备：
设备的设计理念及特征
搭载开槽装置的超高精密研磨设备EJW-400IFN 是采用高刚性机体和独自开发的水冷式主
轴，经常保持一定的定盘温度，并且可以在超低震动状态下高精度旋转。另外，由于采用
高精度的开槽装置，设备可以经常维持稳定高精度的定盘平坦度进行加工。
主要规格：
1-1 研磨设备
设备型号EJW-400IFN
研磨盘直径外径φ380mm；内径φ140mm
定盘转速10~350rpm 可调（软起动/停机）
主电机200V 1.5Kw 3 相
定盘冷却方式恒温水循环方式
陶瓷修整轮ACR-102S X 最大3 组
加压方式自重加压
工件固定方式通过使用陶瓷修正轮用滚轴手臂固定
主轴部分高刚性水冷主轴，0-350rpm
加工时间最大999 分59 秒
1-2 开槽设备
盘面修正精度±2um 以内，200mm 区域
修盘跨度范围：150mm；开槽精度±2μm
修正盘面速度0~250rpm 可调
加工轴数量3 轴
数字显示屏MAX 99min 59sec；可输入99 套程序。
《安全装置》紧急停止按钮设备正面1 个φ30mm 按压锁定重置式
《设备概要》
尺寸940mm×1600mm×1460mmH *含防尘盖高度
重量1000Kg(NET)
单面抛光设备：
设备的设计理念及特征
本设备是搭载φ300mm（12 英寸）定盘的高精度、高效率的抛光机。任何人通过配置在设
备后部的台式定盘修正机都可以非常容易的实现定盘平面度数μｍ以内的修正，从而实现
高精度抛光加工。
主要规格：
设备型号EJ-380INWS
定盘直径外径φ380mm×内径φ140mm(标准尺寸)
水冷部位密闭型冷却水循环式(内循环分离式)
《设备概要》
尺寸705mm×750mm×680mmH *含防尘盖高度
重量100Kg(NET)
