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扬州市神州科技有限公司成立于2003年,现有专业技术人员40人, 员工50人, 专业从事射频等离子体电源的维修、维护及销售,主要服务内容包括:为半导体工厂,液晶面板工厂等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等国际品牌的射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修、销售、客户方案定制与老式机型替代,并提供现场支持服务。
公司主要客户:TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、产品介绍
AE PDX 1250 / 325-450 KHz / 1250 W 射频电源
| Physical | |
| Size | 89mm(H)x483mm(W)x483mm(D) 3.5″(H)x19″(W)x20″(D) standard rack mount |
| Weight | < 14kg(31Ib) |
| Customer Interface | User port and/or active front-panel controls |
| User Port Connector | 25-pin,sub-miniature D,male |
| Serial Port Connector | None |
| 50W Output Connector and Load Match Output Connector | N or C |
| Electrical | |
| RF Output Power | 18 to 1250W |
| Frequency | 325 to 450kHz |
| Load Match Transformer | 10 to 350Ω,7 taps |
| Internal Reactive Match | Inductor |
| Maximum Reflected Power | 250W |
| Harmonics | At full rated power,all harmonics are>50dB below the fundanmental output frequency |
| Input Voltage | 180 to 253 VAC 50/60 Hz,single φ |
| Input current | 15ARMSmax |
| Maximum Output Voltage | 300 V |
| Maximun Output Current | 6A |
| Regulatory Accuracy | 1% of set point or 2 W,whichever is greater |
| Environmental | |
| Operating Temperature | 35℃(95℉)max |
| Cooling | Air(gas),35℃(95℉)max |









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三、品质保障
我们所销售的电源、匹配器及RPS等如无特殊说明,均提供6个月的免费保修服务。
我们为销售产品提供终身维修服务,并可提供EXCHANGE服务,保证客户的生产正常进行。
四、运输

我们为所有出厂的机器提供最结实的包装,保证运输过程中机器的安全。
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